PROSCAN Ⅲ 10mm 振镜

光学配置

通光孔径        10 mm

适用波长        1064nm / 10.6um / 355nm / 532nm

动态参数

跟随误差         0.13 ms

1%全行程阶跃        0.32 ms

10%全行程阶跃        0.8 ms

典型打标速度        3.0 m/s

典型定位速度        12 m/s

精度控制

重复精度        < 2 urad

零位漂移        < 15 urad/K

增益漂移        < 25 ppm/K

零位误差        < 5 mrad

增益误差        < 5 mrad

非线性度        < 3.5 mrad

温度漂移        < 0.3 mrad（160焦距< 0.03mm）

扫描角度        ± 0.35rad

电气参数

电源        +24V DC，3A

接口类型        XY2-100或SPI

机械参数

重量         2.0 kg

尺寸 LWH mm        114 * 96 * 95

冷却方式

水冷        是

风冷        /

工作温度        25℃±10℃