光学配置
通光孔径 10 mm
适用波长 1064nm / 10.6um / 355nm / 532nm
动态参数
跟随误差 0.15 ms
1%全行程阶跃 0.35 ms
10%全行程阶跃 0.9 ms
典型打标速度 2.5 m/s
典型定位速度 10 m/s
精度控制
重复精度 <2 urad
零位漂移 < 30 urad/K
增益漂移 < 50 ppm/K
零位误差 < 5 mrad
增益误差 < 5 mrad
非线性度 < 3.5 mrad
温度漂移 < 0.6 mrad(160焦距 < 0.06mm)
扫描角度 ± 0.35rad
电气参数
电源 ±15V DC,3A
接口类型 XY2-100或SPI
机械参数
重量 2.0kg
尺寸 LWH mm 114 * 96 * 95
冷却方式
水冷 是
风冷 /
工作温度 25℃±10℃
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