同轴CCD通过振镜移动位置，拍照效率高定位精度高，视野小配合我司振镜控制软件能自动实现大范围高精度振镜的畸变校正
技术参数
激光波段 355nm、1064nm
光斑大小 10 - 30 mm
相机 据样品选配
镜头 据样品选配
有效视野 ＜Φ30mm
有效加工范围 300×300（420场镜，高精度校正后）
定位精度 ±0.02mm
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