同轴模块
技术参数
激光波段 355nm、1064nm
光斑大小 10 - 30 mm
相机 据样品选配
镜头 据样品选配
有效视野 ＜Φ30mm
有效加工范围 300×300（420场镜，高精度校正后）
定位精度 ±0.02mm
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